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掃描電子顯微鏡，縮寫為Scanning electron microscope，英文名:SEM(ScanningElectronMicroscope)。它用精細聚焦的電子束轟擊樣品表面，
通過電子與樣品相互作用產生的二次電子和背散射電子觀察和分析樣品的表面或斷口形貌。現在，SEM與能譜(EDS)相結合，可用於成分分析。因此，掃描電鏡也是微觀結構分析的主要工具，已廣泛應用於材料、冶金、礦物、生物等領域。