氮化矽粉塵屬於可燃粉塵。如果在空氣中形成壹定濃度後與火源接觸，會引起爆炸和火災，這種情況可能發生在制造、加工和處理氮化矽粉末的行業中。
為了防止氮化矽粉塵爆炸，需要采取壹些措施，如適當的設備防爆設計，加強通風和排氣，控制粉塵產生的過程，定期清潔設備和工作場所。