臺式掃描電鏡(Desktop SEM)的概念是由美國費公司(1997)提出的,其Phenom臺式掃描電鏡於2006年正式發布,隨後Phenom-World公司於2009年成立,專業研發生產臺式掃描電鏡。與傳統的大型掃描電鏡相比,臺式掃描電鏡具有體積小、操作簡單、價格低廉、抽真空快、無需噴金測量非導電樣品等優點,其放大倍數可高達13萬倍。這類新型儀器的出現,填補了光學顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡之間的空白,可廣泛應用於材料科學、納米粒子、生物醫學、食品醫藥、紡織纖維、地質科學等諸多領域。
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