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單晶矽生長爐的上虞晶盛機電工程有限公司

上虞晶盛機電工程有限公司是壹家專業從事半導體材料生產設備的設計、制造和調試的股份制企業。通過人才引進,公司擁有壹批高、中級專業技術型的研發設計人員和經營管理人才,具有獨立自主的產品設計開發能力和相當規模的生產能力。

公司依托浙江大學機械電子控制工程研究所的高科技優勢,通過與浙江大學國家大學科技園杭州慧翔電液技術開發有限公司合作,***同開發出擁有自主知識產權的ZJS系列TDR80A,TDR80B,TDR85A,TDR95A型全自動晶體生長爐,並形成批量生產。 國外以美國KAYEX公司為代表,生產全自動矽單晶體生長爐。KAYEX公司是目前世界上最大,最先進的矽單晶體生長爐制造商之壹。KAYEX的產品早在80年代初就進入中國市場,已成為中國半導體行業使用最多的品牌。該公司生長的矽晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內僅±1mm。主要產品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

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