研發活動直接消耗的材料、燃料和動力費用；企業在職研發人員的工資、獎金、津貼、補貼、社會保險費、住房公積金等人工費用以及外聘兼職研發人員的勞務費；
用於研發活動的儀器、設備、房屋等固定資產的折舊或租賃費用，單位價值在30萬元以下的研發儀器、設備的購置費用以及相關固定資產的運行維護、維修等費用；用於研發活動的軟件、專利權、非專利技術等無形資產的攤銷費用；
用於中間試驗和產品試制的模具、工藝裝備開發及制造費，設備調整及檢驗費，樣品、樣機及壹般測試手段購置費，試制產品的檢驗費等；
研發成果的論證、評審、驗收、評估以及知識產權的申請費、註冊費、代理費等費用；通過外包、合作研發等方式，委托其他單位、個人或者與之合作進行研發而支付的費用；
與研發活動直接相關的其他費用，包括技術圖書資料費，資料翻譯費，會議費，差旅費，辦公費，外事費，研發人員培訓費，培養費，專家咨詢費，高新科技研發保險費用等。