設備是數據中心基礎設施的組成子集，對設備的維護是保障基礎設施穩定運行的重要措施。設備維護的工作主要包括維護流程的制定、預防性維護工作的執行、維護檔案的管理和故障的處理幾方面內容。
運行維護流程是設備維護工作的指導和依據，數據中心管理者首先要保證各維護流程的正確性、完整性和全面性，同時通過反復的培訓和演練使運維人員對流程充分熟悉和理解，並在實際工作中嚴格執行。
運行維護流程通常包括三個主要類別：標準操作流程(SOP)、維護操作流程(MOP)、應急操作流程(EOP)。
1、標準操作流程通俗地說就是設備的開機、關機操作步驟，對於數據中心的任何壹個型號的設備都必須有SOP。這裏值得壹提的是，同類型的設備可能有不同的型號，比如空調可能包括制冷量60KW和80KW兩種，對於不同型號的設備開機、關機的操作步驟可能不同，所以SOP應該按照型號的不同分別編寫。
2、維護操作流程包括了設備的維護、保養、預防性巡檢等流程內容，壹般情況下MOP會包含SOP的條目，因為不論是維護、保養還是巡檢，常常需要進行開機、關機的操作。對於主設備，每個型號都要有SOP和MOP；輔助設備(閥門等)可以分類定義，每類有單獨的SOP和MOP。
3、每個數據中心都至少應該有7～10個應急操作流程(EOP)，主要呈現在斷電、空調失效、火災、防汛、安防、信息安全等方面。當數據中心有異常情況發生時，往往是多系統、多專業聯動反應，所以在平時的培訓和演練中，需要多個應急預案交叉啟動，為應對實際中可能出現的場景做充足準備。