中國在做光刻機浸液系統的有：張江高科、炬光科技、富創精密、上海微電子裝備、合肥芯碩半導體有限公司、先騰光電等。
1、張江高科
上海浦東新區直屬國有控股上市公司，培育孵化了唯捷創芯、英集芯、賽微微電子、雲從科技、益方生物和聯影醫療等科創板上市公司。同時，公司持有國產高端光刻機企業上海微電子10.779%的股權。
2、炬光科技
國內實力最強的高功率半導體激光器品牌商，公司專註於半導體激光、激光光學業務領域。公司光場勻化器性能卓越，應用於國內主要光刻機研發項目和樣機中，並進入阿斯麥、臺積電的供應鏈。
3、富創精密
國內半導體設備精密零部件領軍企業，主營工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路，是全球少數能夠量產7納米制程零部件廠商。早已進入海外頭部廠商的供應鏈，證實了公司強大的產品和技術能力。
4、上海微電子裝備
有限光刻機主要用於廣泛應用於集成電路前道、先進封裝、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造領域，2018年出貨大概在60臺。營業收入未公布，政府是有大量補貼的。處於技術領先的上海微電子裝備有限公司已量產的光刻機中性能最好的是90nm光刻機，制程上的差距就很大，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。
5、合肥芯碩半導體有限公司
成立與2006年4月，是國內首家半導體直寫光刻設備制造商。該公司自主研發的ATD4000，已經實現最高200nm的量產。
6、先騰光電
成立於2013年4月，已經實現最高200nm的量產，在2014國際半導體設備及材料展覽會上，先騰光電亮出了完全自主知識產權的LED光刻機生產技術，震驚四座。
以上內容參考：百度百科-合肥芯碩半導體有限公司
以上內容參考：百度百科-先騰光電