MOCVD設備是信息產業中重要的關鍵設備。長期以來,我國使用的MOCVD設備都是從國外進口的,對我國信息產業的安全和發展構成了嚴重威脅。王曉亮研究員帶領他的研究小組,不畏艱難困苦。通過三年的不懈努力,他克服了壹個又壹個困難和壹個又壹個技術難題。2009年6月,成功研制出國內第壹臺MOCVD工程樣機,可壹次生長7片2英寸(3英寸)GaN基外延材料,2011。樣機經驗證具有良好的重復性、穩定性和可靠性,綜合性能與國外同類設備相當,實現了MOCVD設備核心技術的自主研究和創新。2012取得的MOCVD制造關鍵專利技術,以無形資產(2000萬)投入廣東中科宏偉半導體設備有限公司,促進了MOCVD設備的產業化。2014年,成功研制出可生長2-8英寸GaN基微電子材料的MOCVD設備,研制材料性能達到國際先進水平,加快了我國信息產業核心裝備MOCVD設備的自主創新發展和工程產業化進程。
此外,王曉亮研究員帶領其研究團隊系統地開展了基於gan的新型電力電子器件的研究工作,通過對結構材料設計、外延生長、器件制備技術的研究和優化,研制出了具有國內領先水平的GaN基耗盡增強型開關器件,兩端器件擊穿電壓為1.960V,三端器件擊穿電壓為1.240V,為下壹步的研制和應用奠定了基礎。
90年代以來,在國內外主要學術期刊上發表研究論文160余篇,在信息科學卷《10000個科學問題》(p328-331,科學出版社)撰寫專題《固態微波器件》。30多項國家發明專利獲得授權,形成了系統的知識產權;已培養28名研究生並獲得博士學位。