實質性程序流程如下：
1、風險評估：這是實質性程序的起點，審計師通過了解被審計單位的業務、行業和市場環境，識別和評估財務報表的重大錯報風險。
2、制定審計計劃：基於風險評估，審計師制定詳細的審計計劃，明確實質性程序的目標、範圍和時間安排。
3、收集審計證據：審計師通過檢查記錄、詢問、觀察、分析等方法，收集能夠證明財務報表列報和披露是否公允的證據。
4、測試控制有效性：審計師測試被審計單位內部控制系統是否健全、有效，以確定是否可以依賴內部控制系統防止或發現重大錯報。
5、實質性分析程序：對賬戶余額和交易進行深入分析，查找是否有異常變動或關系，以發現潛在的錯報或舞弊。
6、細節測試：針對特定賬戶或交易，進行詳細的檢查，如核對憑證、復核計算等，以確定其是否符合會計準則和相關披露要求。
7、整理和評價證據：審計師整理和評價收集到的證據，形成審計意見，判斷財務報表是否存在重大錯報。
8、出具審計報告：基於實質性程序的結果，審計師編制審計報告，披露其審計意見。
程序流程的特點：
1、規範性：程序流程是按照壹定的規範和標準進行的，每壹步操作都有明確的步驟和要求。這確保了工作的高效性和準確性，減少了隨意性和人為因素的影響。在程序設計、開發、測試和部署等各個環節，都有相應的標準和最佳實踐，遵循這些規範可以確保軟件的質量和穩定性。
2、優化性：程序流程可以根據實際情況進行優化，提高工作效率。例如，在軟件開發過程中，可以根據需求和資源情況調整開發計劃，優化開發流程，從而縮短開發周期和提高開發效率。在軟件測試過程中，可以通過自動化測試和性能測試等手段，優化測試流程，提高測試效率和準確性。
3、可重復性：程序流程是可以重復使用的，這有助於提高工作效率和減少錯誤。相同的程序流程可以應用於不同的項目或任務中，只需要根據實際情況進行適當的調整即可。同時，良好的程序流程也有助於團隊之間的知識***享和交接，使團隊成員能夠快速熟悉工作並提高工作效率。