電子增值稅發票的作廢程序與紙質增值稅發票有所不同。根據《中華人民***和國增值稅發票管理辦法》和《電子發票管理辦法》，以下是電子增值稅發票作廢的步驟和要求：
1. 作廢申請：作廢申請應由開票單位或購方提出。開票單位應向稅務機關提交作廢申請，並提供相關證明材料，如紙質發票的原件、購方身份證明等。
2. 申請審核：稅務機關將審核作廢申請的合法性。如果審核通過，稅務機關將在發票系統中標記該發票為作廢狀態，並告知開票單位和購方。
3. 作廢通知：稅務機關會向開票單位和購方發送作廢通知，通知雙方該發票已作廢。
4. 作廢發票保存：作廢的電子增值稅發票應按照相關規定進行保存，以備將來的稅務檢查。
需要註意的是，電子增值稅發票壹旦作廢，將無法再次使用。因此，在申請作廢前，請確保作廢的發票確實符合作廢的條件，以免造成不必要的麻煩。
此外，根據具體情況，不同地區的作廢程序可能會有所不同。建議您在實際操作前，咨詢當地稅務機關或專業律師，以確保按照正確的程序進行作廢操作。
電子增值稅發票作廢的註意事項和步驟包括以下幾點：首先，確保作廢申請符合相關法規和規定，如作廢申請時限等。其次，核對發票信息的準確性，包括發票代碼、發票號碼等，以免誤作廢有效發票。然後，填寫作廢申請表格，註明作廢原因和相關細節。接著，將作廢申請表格提交給稅務部門，並確保按時辦理。最後，及時跟進作廢申請的進展，以確保作廢程序順利進行。在作廢過程中，務必遵守相關規定，避免違法行為。以上是電子增值稅發票作廢的註意事項和步驟，希望對您有所幫助。
法律依據：
《中華人民***和國企業所得稅法實施條例（2019修訂）》： 第六章 特別納稅調整 第壹百二十二條 企業所得稅法第四十八條所稱利息，應當按照稅款所屬納稅年度中國人民銀行公布的與補稅期間同期的人民幣貸款基準利率加5個百分點計算。企業依照企業所得稅法第四十三條和本條例的規定提供有關資料的，可以只按前款規定的人民幣貸款基準利率計算利息。