1.收集相關證明文件:申請專項附加扣除時，需要收集並妥善保管相關證明文件。比如子女教育的扣款需要學校出具的繳費證明，繼續教育的扣款需要培訓機構出具的發票或培訓證明。
2.填寫個人所得稅申報表:個人所得稅年度匯算清繳時，需要填寫個人所得稅申報表，申報專項附加扣除。申報表需要準確填寫專項附加扣除的項目、金額及相應的證明文件。
3.報送審核:稅務局對納稅人的申報信息進行審核，驗證專項附加扣除的合規性和準確性。如果符合相關條件和要求，稅務局會相應調整納稅人的應納稅額，以達到退稅的效果。
4.選擇退稅方式:納稅人可以選擇合適的方式領取退稅款。壹般來說，可以選擇通過銀行轉賬或者現金的方式領取。納稅人應認真閱讀稅務局提供的退稅說明，按要求提供相關信息和資料，確保個人信息的安全和準確。
5.定期查詢退稅情況:納稅人申報後，可通過稅務局提供的查詢系統或撥打稅務咨詢電話，定期查詢退稅情況。有問題可以咨詢稅務人員或者去稅務局溝通解決。
兒童個人所得稅退稅需要準備以下材料:
1.兒童教育信息:包括教育階段、教育時期等。
2.子女和配偶的身份證號碼(無配偶的不需要配偶身份信息)。
綜上所述，子女教育費用個人所得稅退稅的流程，是指父母可以在個人所得稅法規定的條件下，申請將子女教育費用納入個人所得稅專項附加扣除項目，從而享受相應的退稅政策。
法律依據:
中華人民共和國資源稅法
第十壹條
居民個人取得綜合所得時，按年計算繳納個人所得稅；有扣繳義務人的，由扣繳義務人按月或者按次扣繳預繳稅款；需要結算的，應當在次年3月1日至6月30日內結算。代扣代繳辦法由國務院稅務主管部門制定。
居民個人向扣繳義務人提供專項附加扣除信息的，扣繳義務人在按月扣繳時，應當按照規定扣除已扣繳的稅款，不得拒絕。
非居民個人有工資薪金所得、勞務報酬所得、稿酬所得、特許權使用費所得扣繳義務人的，由扣繳義務人按月或者按次代扣代繳稅款，不進行匯算清繳。