光刻機是芯片制造的關鍵設備，我國投入研發的公司有微電子裝備(集團)股份，長春光機所，中國科學院等都在研發，合肥芯碩半導體有限公司，先騰光電科技有限公司，先騰光電科技有限公司， 合肥芯碩半導體有限公司都有研發以及制造。而且有了壹定的科研成果，但是目前我國高端芯片的制造卻主要依賴荷蘭進口的光刻機。我國光刻機在不斷發展但是與國際三巨頭尼康佳能（中高端光刻機市場已基本沒落）ASML（中高端市場近乎壟斷）比差距很大。
光刻機是芯片制造的核心設備之壹，按照用途可以分為好幾種：有用於生產芯片的光刻機；有用於封裝的光刻機；還有用於LED制造領域的投影光刻機。用於生產芯片的光刻機是中國在半導體設備制造上最大的短板，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口，光刻機被業界譽為集成電路產業皇冠上的明珠，研發的技術門檻和資金門檻非常高。也正是因此，能生產高端光刻機的廠商非常少，到最先進的14nm光刻機就只剩下ASML，日本佳能和尼康已經基本放棄第六代EUV光刻機的研發。相比之下，國內光刻機廠商則顯得非常寒酸。
上海微電子裝備(集團)股份有限光刻機主要用於廣泛應用於集成電路前道、先進封裝、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造領域，2018年出貨大概在50-60臺之間。營業收入未公布，政府是有大量補貼的。處於技術領先的上海微電子裝備有限公司已量產的光刻機中性能最好的是90nm光刻機，制程上的差距就很大，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。
2016年11月15日，由長春光機所牽頭承擔的國家科技重大專項02專項極紫外光刻關鍵技術研究?項目順利完成驗收前現場測試。在長春光機所、成都光電所、上海光機所、中科院微電子所、北京理工大學、哈爾濱工業大學、華中科技大學等參研單位的***同努力下，歷經八年的戮力攻堅，圓滿地完成了預定的研究內容與攻關任務，突破了現階段制約我國極紫外光刻發展的核心光學技術，初步建立了適應於極紫外光刻曝光光學系統研制的加工、檢測、鍍膜和系統集成平臺，為我國光刻技術的可持續發展奠定了堅實的基礎。
合肥芯碩半導體有限公司成立與2006年4月,是國內首家半導體直寫光刻設備制造商。該公司自主研發的ATD4000,已經實現最高200nm的量產。
無錫影速成立與2015年1月,影速公司是由中科院微電子研究所聯合業內資深技術團隊、產業基金***同發起成立的專業微電子裝備高科技企業。影速公司已成功研制用於半導體領域的激光直寫/制版光刻設備、國際首臺雙臺面高速激光直接成像連線設備(LDI),已經實現最高200nm的量產。無錫影速成立與2015年1月,影速公司是由中科院微電子研究所聯合業內資深技術團隊、產業基金***同發起成立的專業微電子裝備高科技企業。影速公司已成功研制用於半導體領域的激光直寫/制版光刻設備、國際首臺雙臺面高速激光直接成像連線設備(LDI),已經實現最高200nm的量產。
先騰光電成立於2013年4月,已經實現最高200nm的量產,在2014國際半導體設備及材料展覽會上,先騰光電亮出了完全自主知識產權的LED光刻機生產技術,震驚四座。